一種晶圓切割臺冷卻水管高度檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021303619.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214447514U 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN214447514U 申請公布日 2021-10-22
分類號 B28D5/00;B28D7/02;G01G21/00;H05K5/06 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 曹斌 申請（專利權）人 合肥頎中科技股份有限公司
代理機構 蘇州威世朋知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 胡彭年
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)鳳里街166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓切割臺冷卻水管高度檢測裝置，包括高度指示件和檢測件；所述高度指示件具有支撐板和垂直設置在所述支撐板上的指示板，所述支撐板上具有用于與切割刀轉(zhuǎn)軸連接固定的安裝定位孔，所述指示板距離所述定位孔中心的距離等于待安裝刀片的刀刃到切割刀轉(zhuǎn)軸中心的距離；所述檢測件用于檢測冷卻水管距離所述指示板的距離。本實用新型通過高度指示件將刀刃的位置轉(zhuǎn)化到與冷卻水管相對的指示板上，然后通過檢測件測量指示板和冷卻水管之間的間距是否滿足要求，從而更好的調(diào)整冷卻水管的高度，避免了冷卻水管的設置不當造成的冷卻效果差或者劃傷晶圓的情況出現(xiàn)。