一種治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023348241.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213957834U 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN213957834U 申請公布日 2021-08-13
分類號 G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉強;楊彥偉 申請（專利權(quán)）人 深圳市芯思杰聯(lián)邦國際科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 深圳智匯遠(yuǎn)見知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李雪鵑;牛悅涵
地址 518071廣東省深圳市南山區(qū)學(xué)苑大道1001號南山智園A5棟4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 涉及晶圓載具技術(shù)領(lǐng)域，本申請公開一種治具，包括工作臺，所述工作臺設(shè)有至少一個第一凹槽和至少一個用于標(biāo)膠的第二凹槽，所述第一凹槽的側(cè)壁與晶圓抵接；所述第二凹槽設(shè)于所述第一凹槽的外周，且所述第二凹槽與所述第一凹槽相通。本實用新型，利用第一凹槽放置晶圓，方便晶圓在標(biāo)膠、光刻等工序中完成加工，第二凹槽用于標(biāo)膠使用，且與第一凹槽相通，能夠使得粘膠與晶圓的側(cè)面粘接，且具有較大的粘結(jié)面積，保證粘膠標(biāo)記的完整性和可參照效果。在不同的加工步驟中，通過粘膠標(biāo)記保證晶圓的放置方位保持一致，保證每次步驟中的標(biāo)記圖形保持重合，從而保證光刻質(zhì)量。