濕法腐蝕裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720325841.9 申請日 -
公開（公告）號 CN206961796U 公開（公告）日 2018-02-02
申請公布號 CN206961796U 申請公布日 2018-02-02
分類號 H01L21/67;H01L21/306 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陸一峰;劉格;楊彥偉;劉勝宇;曾建武 申請（專利權）人 深圳市芯思杰聯(lián)邦國際科技發(fā)展有限公司
代理機構 北京友聯(lián)知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 深圳市芯思杰聯(lián)邦國際科技發(fā)展有限公司
地址 518071 廣東省深圳市南山區(qū)學苑大道1001號南山智園A5棟4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種濕法腐蝕裝置，包括：殼體支架；旋轉組件，設于殼體支架上，旋轉組件包括：可旋轉的安裝盤，安裝盤的放置面與鉛垂線平行，放置面用于放置待進行濕法腐蝕的晶圓片。通過本實用新型的技術方案，增加了腐蝕液體的流動性，有效提高了濕法腐蝕工藝的均一性和可靠性。