一種精確定溫的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910109811.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111551254A 公開（公告）日 2020-08-18
申請公布號 CN111551254A 申請公布日 2020-08-18
分類號 G01J5/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉欣宇;袁振洲 申請（專利權(quán)）人 江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100101北京市通州區(qū)經(jīng)海五路1號院58號樓1層2-101-1005
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種精確定溫的方法，包括：選擇已知固定熔點的純凈物質(zhì)，所述純凈物質(zhì)的熔點為Tm；將所述純凈物質(zhì)置于測溫點附近；在設(shè)備升溫過程中，在所述純凈物質(zhì)熔化或升華的瞬間，將所述測溫點的溫度T1定溫為Tm；測溫儀的實際度數(shù)校準為Tm。本發(fā)明利用純凈物質(zhì)在固定溫度熔化或升華的原理，進行定溫。成功解決（1）難以或無需測溫過程，又需要參考溫度；（2）揮發(fā)物遮擋或堵塞測溫口，測溫儀難以對準或接觸到被測物質(zhì)；（3）測溫儀校準的問題。提高了測溫值的準確度，并可對設(shè)備的溫度進行連續(xù)測量，使系統(tǒng)能夠?qū)囟葦?shù)據(jù)進行實時采集、實時分析處理，有效控制設(shè)備的運行過程。??