一種碳化硅單晶生長爐自動裝爐裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120476163.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214400807U 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN214400807U 申請公布日 2021-10-15
分類號 C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I;F27D3/12（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉欣宇;袁振洲 申請（專利權(quán)）人 江蘇超芯星半導體有限公司
代理機構(gòu) 深圳市創(chuàng)富知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林霞
地址 210000江蘇省南京市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)南京片區(qū)研創(chuàng)園團結(jié)路99號孵鷹大廈2189室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種碳化硅單晶生長爐自動裝爐裝置，包括車體，其中：所述車體底部固設(shè)有讀碼器，且所述讀碼器對鋪設(shè)在工作區(qū)域地面上的二維碼標識進行采集及識別；所述車體頂部設(shè)有自動升降裝置，且所述自動升降裝置頂部設(shè)有平衡托盤，本實用新型通過在車體上設(shè)置讀碼器和自動升降裝置，使得車體能夠基于鋪設(shè)在工作區(qū)域地面上的二維碼標識進行相應(yīng)運動，并通過自動升降裝置對帶有生長熱場的爐底板進行自動裝爐和出爐，實現(xiàn)無需人工干預(yù)的出爐或裝爐，節(jié)省人工成本，提高出裝爐效率。