一種大尺寸公斤級(jí)碳化硅單晶生長(zhǎng)用坩堝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020782967.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212895082U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212895082U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | C30B23/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I;C30B25/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 劉欣宇;袁振洲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王佳妹 |
| 地址 | 225000江蘇省揚(yáng)州市儀征市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)閩泰大道9號(hào)A5棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種大尺寸公斤級(jí)碳化硅單晶生長(zhǎng)用坩堝，包括坩堝蓋和坩堝體，所述坩堝蓋與籽晶連接，坩堝體為碳化硅單晶生長(zhǎng)腔體。針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于傳統(tǒng)碳化硅晶體生長(zhǎng)用坩堝不能同時(shí)解決大尺寸、公斤級(jí)、高質(zhì)量的問(wèn)題，提供一種新型圓臺(tái)裝側(cè)壁開(kāi)孔坩堝。?? |
