一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)循環(huán)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120175141.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214068702U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN214068702U 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張靜;方超;鄧信甫;劉大威;陳丁堃 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 至微半導(dǎo)體（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉富艷
地址 200000上海市閔行區(qū)紫海路170號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種適用于濕法設(shè)備的FFU系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)循環(huán)結(jié)構(gòu)，其技術(shù)方案要點(diǎn)是包括外殼，通過(guò)在外殼內(nèi)設(shè)置分隔組件，使得氣流空間分隔成第一空間和第二空間，通過(guò)在第三隔板上設(shè)置兩個(gè)通氣組件，使得工藝槽體區(qū)域和排氣區(qū)域相互連通，通過(guò)在第三隔板上設(shè)置容納組件，以防止酸氣回流，通過(guò)在第二隔板上設(shè)置阻擋組件，以防止凝結(jié)液進(jìn)入通氣組件，通過(guò)在排氣管內(nèi)設(shè)置調(diào)節(jié)組件，以調(diào)節(jié)排氣管開(kāi)口的大小，通過(guò)在氣流空間上設(shè)置導(dǎo)流組件，以加快氣流空間內(nèi)氣體的流速，通過(guò)在外殼上設(shè)置隱蔽組件，以收納FFU殼體的電線，通過(guò)在FFU殼體和走線殼體之間設(shè)置嵌合組件，使得FFU殼體與走線殼體相互貫通，通過(guò)在外殼上設(shè)置定位組件，以定位FFU殼體。