一種應(yīng)用于濕法設(shè)備的晶圓導(dǎo)片機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023280003.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214226889U 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN214226889U 申請公布日 2021-09-17
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄧信甫;陳佳煒;徐銘;李志鋒;劉大威 申請（專利權(quán)）人 至微半導(dǎo)體（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 沈棟棟
地址 200241上海市閔行區(qū)紫海路170號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種應(yīng)用于濕法設(shè)備的晶圓導(dǎo)片機(jī)構(gòu)，涉及到半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括水平導(dǎo)片機(jī)構(gòu)，水平導(dǎo)片機(jī)構(gòu)包括對稱設(shè)置的兩旋轉(zhuǎn)式承載平臺模塊，和設(shè)于其中一旋轉(zhuǎn)式承載平臺模塊下側(cè)的晶圓片偵測計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，以及設(shè)于其中一旋轉(zhuǎn)式承載平臺模塊的一側(cè)的推片機(jī)構(gòu)。其具有較強(qiáng)的穩(wěn)定性、靈活性、完整性以及廣用性。