硅晶片堿腐蝕廢液的回收處理方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210275215.5 申請日 -
公開（公告）號 CN103570167A 公開（公告）日 2014-02-12
申請公布號 CN103570167A 申請公布日 2014-02-12
分類號 C02F9/06(2006.01)I 分類 水、廢水、污水或污泥的處理;
發(fā)明人 張新華;范瓊;潘加永 申請（專利權(quán)）人 庫特勒自動化系統(tǒng)（蘇州）有限公司
代理機構(gòu) 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 庫特勒自動化系統(tǒng)（蘇州）有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市興吳路71號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種化學(xué)腐蝕廢液的回收處理方法和系統(tǒng)，所述方法采用電解技術(shù)與離子交換膜技術(shù)相結(jié)合實現(xiàn)硅晶片的堿腐蝕廢液的回收利用。本發(fā)明所涉及的回收處理方法可以減少堿腐蝕液的消耗，避免大量廢水的排放，從而做到降低生產(chǎn)成本，節(jié)約能源，保護環(huán)境，同時本發(fā)明的回收處理系統(tǒng)操作簡單，回收處理系統(tǒng)幾乎可實現(xiàn)零污染排放。