一種用于氣相沉積機(jī)的偵測(cè)裝置及氣相沉積機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022713547.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214168125U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN214168125U 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) C23C16/52（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 萬(wàn)照云;呂東生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉小峰;李紅蕭
地址 215025江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星華街333號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于氣相沉積機(jī)的偵測(cè)裝置，包含：臭氧發(fā)生器，臭氧發(fā)生器設(shè)置有電流偵測(cè)器以偵測(cè)臭氧發(fā)生器的工作電流；腔室，腔室與臭氧發(fā)生器通過(guò)管路流體連通；以及控制器，控制器與電流偵測(cè)器通信連接并配置為響應(yīng)于工作電流超出預(yù)定范圍而提示工作人員，提示包含臭氧的濃度、流量中的至少一項(xiàng)異常。該偵測(cè)裝置通過(guò)檢測(cè)臭氧發(fā)生器的工作電流來(lái)建立卡關(guān)機(jī)制，以更有效地反映常壓氣相沉積機(jī)腔室內(nèi)臭氧濃度和/或流量的異常。本實(shí)用新型同時(shí)提供一種包含上述偵測(cè)裝置的氣相沉積機(jī)。