一種晶圓對(duì)準(zhǔn)度檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022840538.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213340328U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213340328U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/68（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李長(zhǎng)江;王云峰;趙壯壯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 劉小峰;楊帆 |
| 地址 | 215025江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星華街333號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓對(duì)準(zhǔn)度檢測(cè)裝置，包含：攝像頭；顯示與分析裝置，顯示與分析裝置與攝像頭通信連接；治具，治具可定位至用于固定晶圓的部件，并且治具包含：底座，底座呈扁平狀，且中心設(shè)置有通孔；攝像頭支架，攝像頭支架安裝于底座的上表面。該晶圓對(duì)準(zhǔn)度檢測(cè)裝置通過攝像頭捕獲噴嘴尖端附近的圖像并將圖像傳送至顯示與分析裝置進(jìn)行分析，相比于傳統(tǒng)的目測(cè)有效提高了準(zhǔn)確度。?? |
