一種用于反應(yīng)腔上部電源線接頭的固定治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120417444.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214204114U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214204114U 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01R13/56;H01R13/502;H01R13/629;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 倪金金 申請（專利權(quán)）人 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張濤;李紅蕭
地址 215025 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星華街333號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于反應(yīng)腔上部電源線接頭的固定治具，接頭包含固定至反應(yīng)腔上蓋并位于方形保護罩內(nèi)的第一接頭部分和連接至電源線的第二接頭部分，固定治具包含：可拆卸地固定至保護罩的第一部分；以及可拆卸地固定至電源線的第二部分；其中，第一部分和第二部分的相對位置固定。該固定治具能夠相對于保護罩和位于其內(nèi)部的接頭固定電源線，從而有效避免因第二接頭與電源線連接處反復(fù)彎折和/或拉扯以及反復(fù)拆卸導(dǎo)致的接頭失效。