一種改善電容耐壓性的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911240661.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112928207A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN112928207A 申請公布日 2021-06-08
分類號 H01L49/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 仝剛;王向春;劉波;於想 申請（專利權）人 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
代理機構 北京連和連知識產權代理有限公司 代理人 楊帆
地址 215025 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星華街333號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種改善電容耐壓性的方法，所述方法包括四個步驟：步驟一：將電容方形上極板的邊角從直角修正為圓弧角；步驟二：通過金屬蝕刻和介電質蝕刻兩步對所述上極板進行蝕刻；步驟三：在所述上極板上沉積氧化物間隔層；步驟四，對介電質層進行整體蝕刻。通過該方法，使得金屬介電質金屬電容的耐壓性得到了有效提升。