基于光學(xué)原理的多軸力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011193267.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112213009A 公開（公告）日 2021-01-12
申請公布號 CN112213009A 申請公布日 2021-01-12
分類號 G01L1/24(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 白仲皖 申請（專利權(quán)）人 華力創(chuàng)科學(xué)（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 華力創(chuàng)科學(xué)（深圳）有限公司
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道寶龍社區(qū)寶荷大道76號智慧家園B座2101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于光學(xué)原理的多軸力傳感器，其包括感測件和堆疊在感測件上側(cè)的封蓋件。感測件具有中空設(shè)置的外圍部和設(shè)置于外圍部中心位置的承載部，承載部與外圍部通過多個均勻分布在承載部外周側(cè)的彈性懸梁部與外圍部連接，承載部在外力作用下相對外圍部發(fā)生偏轉(zhuǎn)或移動。封蓋件與承載部之間設(shè)置檢測承載部相對外圍部的偏轉(zhuǎn)量或移動量的第一位移檢測器。由此，以提供結(jié)構(gòu)簡單，便于制造生產(chǎn)的多軸力傳感器。??