一種應(yīng)用真空閃蒸輔助狹縫涂布的鈣鈦礦薄膜制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111195048.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113871538A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113871538A 申請公布日 2021-12-31
分類號 H01L51/48（2006.01）I;H01L51/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董弋;徐誠;易海芒;王知萌;黃志榮 申請（專利權(quán)）人 深圳黑晶光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 廣東廣盈專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李俊
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道大浪社區(qū)裕安二路362號大家好廣場廠房B棟502
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種應(yīng)用真空閃蒸輔助狹縫涂布的鈣鈦礦薄膜制備方法，其中，所述方法包括：配制鈣鈦礦的前驅(qū)體溶液；基于所述前驅(qū)體溶液利用多段式注液工藝配合狹縫涂布制備鈣鈦礦的前驅(qū)體薄膜；基于真空閃蒸工藝輔助所述前驅(qū)體薄膜的成膜處理，獲得所述鈣鈦礦的前驅(qū)體成膜；將所述鈣鈦礦的前驅(qū)體成膜在熱臺上進行退火處理，獲得鈣鈦礦薄膜。在本發(fā)明實施例中，具有操作簡單、可操作性與穩(wěn)定性強等特點，適合連續(xù)制造大面積鈣鈦礦薄膜層，在鈣鈦礦太陽能電池的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用具有巨大的潛在價值。