壓印襯底及壓印方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111366654.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114002915A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114002915A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-01 |
| 分類號(hào) | G03F7/00（2006.01）I;G02B3/00（2006.01）I;G02B5/18（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 徐琦;張國(guó)偉;劉博;蔣超;田克漢;王淼 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京馭光科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京律和信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 郝文博 |
| 地址 | 100083北京市海淀區(qū)知春路23號(hào)6層609室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種壓印襯底，用于固定于壓印設(shè)備的載物臺(tái)上，壓印襯底為用于制備衍射光學(xué)元件或微透鏡陣列的壓印襯底，壓印襯底包括：功能部和穩(wěn)定部，功能部用于涂覆光固化或熱固化膠水，功能部具有厚度均勻的有效區(qū)和包圍有效區(qū)的無(wú)效區(qū)，有效區(qū)用于作為納米壓印圖形的承載區(qū)域。穩(wěn)定部固定設(shè)置于功能部的無(wú)效區(qū)上，且穩(wěn)定部的厚度大于功能部的厚度。本發(fā)明的實(shí)施例利用穩(wěn)定部的重力抵抗膠水固化過(guò)程中的內(nèi)縮應(yīng)力，避免了襯底翹曲變形，提高了產(chǎn)品的合格率，進(jìn)而為選擇大尺寸超薄襯底提供了條件。同時(shí)，本發(fā)明還提供了一種壓印方法，依靠前述的壓印襯底進(jìn)行納米壓印。 |
