一種多晶硅還原生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110084412.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102107873B 公開（公告）日 2012-07-11
申請公布號 CN102107873B 申請公布日 2012-07-11
分類號 C01B33/035(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 劉崗;周大榮;孫建榮;蔣敏;孫兵;胡成發(fā) 申請（專利權(quán)）人 連云港中彩科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 代理人 連云港中彩科技有限公司
地址 222000 江蘇省連云港市連云區(qū)連云經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)板橋工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅還原生產(chǎn)工藝，在反應(yīng)初期，通過提高溫度增加沉積速率使硅棒快速長大，由于爐內(nèi)總流速小，即使是采用較低的氫氣含量，副反應(yīng)發(fā)生率也相對較低；反應(yīng)中期，隨著硅棒的不斷長大，通過降低溫度、提高氫氣的含量抑制熱解反應(yīng)以及副反應(yīng)等發(fā)生，并通過增加總流速提高反應(yīng)速率；反應(yīng)后期，進(jìn)一步提高氫氣含量和流速，保持溫度，抑制因活性面積增大帶來的激烈副反應(yīng)。通過優(yōu)化還原內(nèi)的反應(yīng)條件，不僅有利于促進(jìn)三氯氫硅的有效轉(zhuǎn)化，也有利于硅棒的較好生長；同時，對抑制反應(yīng)熱解進(jìn)行，使主還原反應(yīng)更好地進(jìn)行效果明顯；減少副產(chǎn)物，降低了多晶硅綜合成本。