一種多晶硅硅芯腐蝕的新方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110084413.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102199773A 公開(kāi)（公告）日 2011-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN102199773A 申請(qǐng)公布日 2011-09-28
分類(lèi)號(hào) C23F1/40(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉崗;周大榮;孫建榮;蔣敏;孫兵;胡成發(fā) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 連云港中彩科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京眾聯(lián)專(zhuān)利代理有限公司 代理人 連云港中彩科技有限公司
地址 222000 江蘇省連云港市連云區(qū)連云經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)板橋工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅硅芯腐蝕的新方法，按照質(zhì)量百分含量配比如下：氫氧化鈉20~40%、氟化鈉4~6%和次氯酸鈉0.3~0.7%，水50~70%制作腐蝕液，控制腐蝕溫度為50~70℃，硅芯在液體中浸泡時(shí)間為3~5分鐘，然后用純水漂洗5~7遍，再用純水煮沸3~5分鐘，放入烘箱80~100℃烘干即可，采用了一種新的對(duì)多晶硅硅芯進(jìn)行腐蝕處理，所得硅芯的比較面積達(dá)到40~80m－1，大大高于混酸腐蝕的比表面積，本發(fā)明取代傳統(tǒng)使用的氫氟酸和硝酸混酸腐蝕液，提供了一個(gè)安全無(wú)污染、高效低成本的硅芯腐蝕新工藝；具有環(huán)境污染小、腐蝕成本低、人身無(wú)傷害及腐蝕效果好的特點(diǎn)。