西門子法制備多晶硅還原尾氣回收系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020236525.2 申請日 -
公開（公告）號 CN201746333U 公開（公告）日 2011-02-16
申請公布號 CN201746333U 申請公布日 2011-02-16
分類號 C01B33/03(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 周大榮 申請（專利權(quán)）人 連云港中彩科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 無錫中彩科技有限公司
地址 214183 江蘇省無錫市惠山區(qū)玉祁鎮(zhèn)工業(yè)集中區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種“西門子”法制備多晶硅還原尾氣回收系統(tǒng)，特征是：在尾氣-淋洗氣熱交換器上設(shè)有尾氣入口、尾氣出口、尾液出口、冷卻氣入口和冷卻氣出口；在鼓泡淋洗塔的上端設(shè)有淋洗液入口、淋洗尾氣入口、冷卻尾氣出口和淋洗液出口；尾氣入口與尾氣儲罐連接，尾氣出口與淋洗尾氣入口連接，冷卻氣入口與冷卻尾氣出口連接，冷卻氣出口與氫壓機(jī)連接，氫壓機(jī)與壓縮氣-吸收氣熱交換器頂部的氣體入口連接，尾液出口、淋洗液出口和壓縮氣-吸收氣熱交換器底部的液體出口與氯硅烷儲罐連接，氯硅烷儲罐與氯硅烷屏蔽泵連接，氯硅烷屏蔽泵與氯硅烷過冷器液體入口連接，氯硅烷過冷器液體出口利用管道與淋洗液入口連接。本實用新型實現(xiàn)了低成本、低能耗、高效率。