一種磷酸鋰靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110167850.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102249661B 公開（公告）日 2012-08-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN102249661B 申請(qǐng)公布日 2012-08-08
分類號(hào) C23C14/34(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鐘小亮;王樹森;王廣欣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 煙臺(tái)碩德新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 汪青
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市國泰北路1號(hào)留學(xué)生創(chuàng)業(yè)園D-102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種磷酸鋰靶材及其制備方法，該靶材的純度大于等于99.9%、相對(duì)密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。該靶材的制備方法包括以下步驟：（1）提供磷酸鋰粉末，并將其液壓成型為坯件；（2）對(duì)所述的坯件進(jìn)行冷等靜壓加工；（3）將經(jīng)過步驟（2）的坯件置于爐中進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)過程采用了多階段性升溫加壓的方式。按照本發(fā)明方法制備的磷酸鋰靶材晶粒尺寸細(xì)小且致密度高。在適當(dāng)條件下，濺射這些靶材能獲得性能優(yōu)良的薄膜，從而提高全固態(tài)薄膜鋰離子電池的儲(chǔ)能量和循環(huán)次數(shù)。