一種晶圓自動化生產控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010051444.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113138586A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113138586A 申請公布日 2021-07-20
分類號 G05B19/418（2006.01）I 分類 控制；調節(jié);
發(fā)明人 金星勛 申請（專利權）人 無錫芯享信息科技有限公司
代理機構 無錫市朗高知識產權代理有限公司 代理人 趙華
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網國際創(chuàng)新園G10-1006
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓自動化生產控制系統(tǒng)及方法，包括1、控制模塊、數據存儲模塊、通訊模塊、檢測模塊、自動化設備平臺和自動化設備；控制模塊進行對自動化設備平臺、數據存儲模塊、通訊模塊和檢測模塊的控制；通訊模塊進行對控制模塊、數據存儲模塊、檢測模塊、自動化設備平臺和自動化設備的數據傳輸；自動化設備平臺進行接收指令對自動化設備進行起閉；自動化設備進行對晶元的各類生產操作；檢測模塊進行對自動化設備生產晶圓的過程和成品的檢測；數據存儲模塊進行對自動化設備平臺、檢測模塊的數據存儲。本發(fā)明結構簡單，操作方便，提高自動化監(jiān)測效果和有效保證數據的安全性。