一種管式PECVD結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720882670.X 申請日 -
公開（公告）號 CN207512258U 公開（公告）日 2018-06-19
申請公布號 CN207512258U 申請公布日 2018-06-19
分類號 C23C16/54;C23C16/44;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 謝明會;趙洪俊;平國慶;何為晉 申請（專利權）人 太倉海潤太陽能有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 奧特斯維能源（太倉）有限公司;太倉海潤太陽能有限公司
地址 215434 江蘇省蘇州市太倉市港口開發(fā)區(qū)平江路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及太陽能電池技術領域，公開了一種管式PECVD結構，包括單向閥，單向閥包括閥體和活塞組件，閥體的一端口與管式PECVD的爐管相連通，另一端口與連接有真空泵的連接管相連通，爐管的連接閥體的端口位于活塞組件的底部、連接管的連接閥體的端口位于活塞組件的側部，以使活塞組件將爐管和連接管隔開；當爐管中的氣體壓強大于連接管中的氣體壓強時，爐管中的氣體能夠推動活塞組件向上運動，以使爐管和連接管連通，氣體由爐管流入連接管內。本實用新型提出的管式PECVD結構，當爐管中的氣體壓強大于連接管中的氣體壓強時，爐管中的氣體能夠推動活塞組件向上運動，使爐管內氣體只能沿著真空泵抽氣方向抽離，不會出現(xiàn)連接管內氣體回流的情況。