一種擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720771056.6 申請日 -
公開（公告）號 CN207338411U 公開（公告）日 2018-05-08
申請公布號 CN207338411U 申請公布日 2018-05-08
分類號 H01L31/18;F16M13/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張衡;蔣萬昌;郭夢龍;王海超 申請（專利權(quán)）人 合肥海潤光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 合肥海潤光伏科技有限公司;太倉海潤太陽能有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站綜合開發(fā)實驗區(qū)大禹路1288號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架，包括能夠擱置在所述擴散爐的恒溫槽上的板狀架體，所述架體上設(shè)有用于觀察所述恒溫槽內(nèi)液位的觀察孔、添加/抽放所述恒溫槽內(nèi)液體的進出液口、一個或多個能夠容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。本實用新型利用容置槽擱置三氯氧磷源瓶，避免源瓶傾斜，保證擴散效果，增加了擴散工序的安全性；利用容置槽擱置三氯氧磷源瓶，阻止三氯氧磷源瓶與水直接接觸，當(dāng)源瓶意外破裂時不至于與水發(fā)生反應(yīng)，保證安全；觀察孔方便日常檢查、觀察恒溫槽內(nèi)液位；進出液口方便抽放恒溫槽內(nèi)液體或向恒溫槽內(nèi)添加新液；另外，觀察孔與進出液口可兼做提手使用，方便安裝拆卸該支架。