一種基于渦輪分子泵薄膜生長設(shè)備的測漏閥門系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111427204.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114046941A 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN114046941A 申請公布日 2022-02-15
分類號 G01M3/20（2006.01）I;F16K27/08（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蔡宇航;金補(bǔ)哲;葉新浩;厲冰峰 申請（專利權(quán)）人 盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海老虎專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 葛瑛
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于渦輪分子泵薄膜生長設(shè)備的測漏閥門系統(tǒng),包括閘口閥和渦輪增壓閥，所述渦輪增壓閥的底部內(nèi)及外部之間設(shè)置有渦輪隔離閥，所述渦輪隔離閥上設(shè)置有轉(zhuǎn)接裝置，所述轉(zhuǎn)接裝置包括轉(zhuǎn)接頭和手動(dòng)閥，所述手動(dòng)閥的兩端分別設(shè)置有連接管一和連接管二，所述轉(zhuǎn)接頭與連接管一之間以及連接管二內(nèi)均設(shè)置有中心圈，所述轉(zhuǎn)接頭與連接管一之間的外部上以及連接管二的外部上均設(shè)置有卡箍，所述連接管二內(nèi)與卡箍之間設(shè)置有悶板。本發(fā)明通過轉(zhuǎn)接裝置，可便捷的將氦氣測漏儀與渦輪隔離閥相連接，無需將渦輪增壓泵停止，節(jié)省了渦輪增壓泵的停止和運(yùn)行的時(shí)間，提升了工作效率。