應(yīng)用于缺陷高度測(cè)量的方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210115378.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114152626A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114152626A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類號(hào) G01N21/88（2006.01）I;G06T7/00（2017.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 蘭海燕;康時(shí)俊;沈曙光 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海市匯業(yè)律師事務(wù)所 代理人 王函
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于缺陷高度測(cè)量的方法及裝置，其中，方法包括將相機(jī)對(duì)準(zhǔn)待檢測(cè)缺陷；帶動(dòng)所述相機(jī)沿垂直于所述待檢測(cè)缺陷的方向單向移動(dòng)，并控制所述相機(jī)每移動(dòng)系統(tǒng)預(yù)設(shè)間隔距離就進(jìn)行一次拍攝，以拍攝到的各張圖片中的各相鄰像素點(diǎn)之間灰度差值的絕對(duì)值的總和與所述相機(jī)的位移距離為依據(jù)，獲取所述待檢測(cè)缺陷的高度。通過(guò)本發(fā)明的方法及對(duì)應(yīng)的裝置利用拍攝到的缺陷的照片的灰度差值的差異與相機(jī)的移動(dòng)距離來(lái)獲得缺陷高度，可基于普通相機(jī)也能滿足對(duì)缺陷高度進(jìn)行檢測(cè)的需求，有效降低檢測(cè)成本，提高適應(yīng)性，且保障了檢測(cè)的精度及檢測(cè)的效率，有效控制產(chǎn)品的質(zhì)量。