一種用于薄膜生長設(shè)備的偏置射頻和直流電源的輸送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111427195.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114094386A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114094386A 申請公布日 2022-02-25
分類號 H01R13/622（2006.01）I;H01R4/60（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡宇航;金補哲;葉新浩;厲冰峰 申請（專利權(quán)）人 盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 上海老虎專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 葛瑛
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于薄膜生長設(shè)備的偏置射頻和直流電源的輸送裝置，包括：靜電吸盤，所述靜電吸盤的上部設(shè)置有連接頭與靜電吸盤之間固定連接，所述連接頭的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)螺紋孔，所述連接頭的上部設(shè)置有銅棍且銅棍的頂部設(shè)置有插接頭，所述插接頭與偏置匹配器之間相連接。本發(fā)明將銅條部分更換成銅棍，其橫截為圓形，面積更大，可以滿足更大的負(fù)荷電流，同時散熱性能更好，減少發(fā)生電腐蝕的幾率；偏置匹配器端將接頭和銅棍合體，這樣減少了一個腐蝕部位；將靜電吸盤端做成分離結(jié)構(gòu)，使得連接頭依舊可以固定在靜電吸盤背面，另一端可以通過螺紋擰進去，這樣如果銅棍另一頭發(fā)生腐蝕，可以直接擰下來更換，不需要打開腔體，分解靜電吸盤。