一種適用于微芯片巨量轉移拾取頭的生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910496595.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110504192A 公開（公告）日 2019-11-26
申請公布號 CN110504192A 申請公布日 2019-11-26
分類號 H01L21/67（2006.01）; H01L21/677（2006.01）; H01L21/683（2006.01）; H01L21/66（2006.01）; G01R1/04（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱干軍; 徐競; 張家堯; 陳雄群 申請（專利權）人 義烏臻格科技有限公司
代理機構 金華智芽專利代理事務所（普通合伙） 代理人 陳迪
地址 322000 浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)蘇福路219號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種適用于微芯片巨量轉移拾取頭的生產(chǎn)方法。該方法包括以下步驟：步驟一，利用陶瓷燒結技術，一次性燒結出柱狀拾取頭，拾取頭的上端面上同時向下加工成型有M×N條氣道；步驟二，在每條氣道的下端與拾取頭的下端面之間都連接有微氣道；步驟三，準備一個密封殼；步驟四，在密封殼上打孔，然后裝配上與密封殼內(nèi)部空腔連通的通氣閥和吸氣閥；步驟五，將密封殼與拾取頭上端密封對接，且保證各個閥體正對各氣道的上開口。本發(fā)明采用單次巨量轉移的機制，大大的提高芯片轉移效率。