一種微型面發(fā)射光電芯片陣列光電性能巨量檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920865407.9 申請日 -
公開（公告）號 CN210040133U 公開（公告）日 2020-02-07
申請公布號 CN210040133U 申請公布日 2020-02-07
分類號 H01L21/66;H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張家堯;朱干軍;徐競;陳雄群 申請（專利權(quán)）人 義烏臻格科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市上嘉專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 李璐;郭華俊
地址 322009 浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)蘇福路219號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種微型面發(fā)射光電芯片陣列光電性能巨量檢測系統(tǒng)，用于呈一定間距分布的面發(fā)射光電芯片陣列的光電性能檢測，包括轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)裝置、轉(zhuǎn)移頭、襯底放置臺、檢測電路基板、芯片放置臺、光學(xué)探測器，所述襯底放置臺、檢測電路基板、芯片放置臺依次排列于所述轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)裝置的同一側(cè)，所述轉(zhuǎn)移頭固定安裝于轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)裝置的移動(dòng)執(zhí)行端，并在襯底放置臺和芯片放置臺之間的上方往返移動(dòng)，所述光學(xué)探測器位于檢測電路基板的正下方。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)微型面發(fā)射光電芯片組在巨量轉(zhuǎn)移過程中同時(shí)實(shí)現(xiàn)光電性能的巨量同步檢測，檢測效率高，適用于微型面發(fā)射光電芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光電性能巨量檢測。