一種微型面發(fā)射光電芯片陣列光電性能巨量檢測(cè)系統(tǒng)及其方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910499955.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110600389A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110600389A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-20 |
| 分類號(hào) | H01L21/66（2006.01）; H01L21/683（2006.01） | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張家堯; 朱干軍; 徐競(jìng); 陳雄群 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 義烏臻格科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市上嘉專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李璐;郭華俊 |
| 地址 | 322009 浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)蘇福路219號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種微型面發(fā)射光電芯片陣列光電性能巨量檢測(cè)系統(tǒng)及其方法，該系統(tǒng)包括轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)裝置、轉(zhuǎn)移頭、襯底放置臺(tái)、檢測(cè)電路基板、芯片放置臺(tái)、光學(xué)探測(cè)器，襯底放置臺(tái)、檢測(cè)電路基板、芯片放置臺(tái)依次排列于所述轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)裝置的同一側(cè)，轉(zhuǎn)移頭固定安裝于轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)裝置上，光學(xué)探測(cè)器位于檢測(cè)電路基板的正下方。該方法包括以下步驟：S1放置芯片陣列；S2負(fù)壓吸附芯片；S3芯片檢測(cè)就位；S4光電性能檢測(cè)；S5芯片轉(zhuǎn)移釋放；S6循環(huán)拾取及檢測(cè)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)微型面發(fā)射光電芯片組在巨量轉(zhuǎn)移過(guò)程中同時(shí)實(shí)現(xiàn)光電性能的巨量同步檢測(cè)，檢測(cè)效率高，適用于微型面發(fā)射光電芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光電性能巨量檢測(cè)。 |
