一種探針間距連續(xù)可調(diào)的探針檢測(cè)頭及探針檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822164354.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209606482U 公開（公告）日 2019-11-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN209606482U 申請(qǐng)公布日 2019-11-08
分類號(hào) G01R1/073（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 連程杰; 朱干軍; 張家堯 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 義烏臻格科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 金華智芽專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 義烏臻格科技有限公司
地址 322000 浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)蘇福路219號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種探針間距連續(xù)可調(diào)的探針檢測(cè)頭及探針檢測(cè)裝置。它包括有水平設(shè)置的基座，基座上設(shè)有根移動(dòng)梁，每根移動(dòng)梁的一端連接有一個(gè)壓電陶瓷體，各壓電陶瓷體的伸縮軸為水平設(shè)置，壓電陶瓷體與基座為固定連接，所述的每根移動(dòng)梁上均固定有一根豎直設(shè)置的探針，基座上還固定有一根固定探針，固定探針與三根探針的探測(cè)頭均在同一水平面上。每個(gè)壓電陶瓷體上都連接有電路，通過(guò)控制施加給每個(gè)壓電陶瓷體的電壓，就能控制壓電陶瓷體的細(xì)微長(zhǎng)度變化。壓電陶瓷體的長(zhǎng)度變化可以同步帶動(dòng)移動(dòng)梁以及其上的探針發(fā)生移動(dòng)，這樣三根探針以及固定探針之間的間距就可以連續(xù)改變。