一種光刻版翻版機(jī)及光刻版翻版系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110635723.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113391525A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113391525A 申請公布日 2021-09-14
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 于航;馬占良;劉俊嘉 申請（專利權(quán)）人 吉林華微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都極刻智慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 唐維虎
地址 132000吉林省吉林市高新區(qū)深圳街99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種光刻版翻版機(jī)及光刻版翻版系統(tǒng)，光刻版翻版機(jī)包括：底板、上版框、下版框、合頁組件結(jié)構(gòu)和曝光單元；下版框位于底板的一側(cè)，上版框通過合頁組件結(jié)構(gòu)與下版框活動連接，曝光單元位于上版框遠(yuǎn)離下版框的一側(cè)；下版框和上版框用于容置待制作的光刻版；曝光單元用于提供光源將待曝光的母版圖形接觸式曝光至光刻版上，通過上述設(shè)置，能夠制作得到圖形形狀、尺寸線寬與母版一致的光刻版，解決了母版上存在塵埃、劃傷、沾污等缺陷，曝光后芯片表面存在的缺陷嚴(yán)重影響產(chǎn)品合格率、電學(xué)參數(shù)和質(zhì)量的問題，同時大大降低光刻版原材料成本。