一種探針臺(tái)及芯片測(cè)試系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110397438.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113092989A 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113092989A 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊昌林;付云龍;程國慶;張帥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 吉林華微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都極刻智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 唐維虎
地址 132000吉林省吉林市高新區(qū)深圳街99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種探針臺(tái)及芯片測(cè)試系統(tǒng)，探針臺(tái)包括載片臺(tái)、可拆卸固定件、第一探針、第二探針以及第三探針，為解決相關(guān)技術(shù)中單面芯片和雙面芯片由于結(jié)構(gòu)不同需要不同的探針臺(tái)進(jìn)行芯片測(cè)試的問題，在待測(cè)芯片被配置為雙面芯片時(shí)，第一探針、第二探針和第三探針被配置為雙面芯片測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行芯片測(cè)試，在待測(cè)芯片被配置為單面芯片時(shí)，第一探針、第二探針和可拆卸固定件被配置為單面芯片測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行測(cè)試，利用了可拆卸固定件參與測(cè)試回路的形成，無需設(shè)置額外的部件或者更換額外的部件即可在一個(gè)探針臺(tái)上進(jìn)行單面芯片和雙面芯片的測(cè)試，進(jìn)而減少芯片檢測(cè)所需設(shè)備數(shù)量，在降低設(shè)備成本的同時(shí)提高設(shè)備利用率。