一種探針臺及芯片測試系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110397438.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113092989A 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN113092989A 申請公布日 2021-07-09
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊昌林;付云龍;程國慶;張帥 申請（專利權）人 吉林華微電子股份有限公司
代理機構 成都極刻智慧知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 唐維虎
地址 132000吉林省吉林市高新區(qū)深圳街99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種探針臺及芯片測試系統(tǒng)，探針臺包括載片臺、可拆卸固定件、第一探針、第二探針以及第三探針，為解決相關技術中單面芯片和雙面芯片由于結構不同需要不同的探針臺進行芯片測試的問題，在待測芯片被配置為雙面芯片時，第一探針、第二探針和第三探針被配置為雙面芯片測試結構進行芯片測試，在待測芯片被配置為單面芯片時，第一探針、第二探針和可拆卸固定件被配置為單面芯片測試結構進行測試，利用了可拆卸固定件參與測試回路的形成，無需設置額外的部件或者更換額外的部件即可在一個探針臺上進行單面芯片和雙面芯片的測試，進而減少芯片檢測所需設備數(shù)量，在降低設備成本的同時提高設備利用率。