一種低溫真空大光程高靈敏度直線掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010378244.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111624171A 公開（公告）日 2020-09-04
申請公布號 CN111624171A 申請公布日 2020-09-04
分類號 G01N21/3504(2014.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 范建凱;于婷婷;王淳;趙廣濤;李曉;范恒飛;趙鑫 申請（專利權(quán)）人 北京空間機(jī)電研究所
代理機(jī)構(gòu) 中國航天科技專利中心 代理人 北京空間機(jī)電研究所
地址 100076北京市豐臺區(qū)南大紅門路1號9201信箱5分箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低溫真空大光程高靈敏度直線掃描裝置，涉及大氣超光譜探測技術(shù)領(lǐng)域；包括角鏡組件、鎖定裝置、4個限位塊、導(dǎo)向桿、支撐臺、支架、2組導(dǎo)軌與滑塊組件、8個熱卸載組件、支撐架、LVDT組件、直線電機(jī)、基座、光柵尺和讀數(shù)頭；本發(fā)明克服現(xiàn)有探測技術(shù)中由于溫度過高或溫度不均勻?qū)е录t外光譜被干涉，和溫度低導(dǎo)致的機(jī)構(gòu)剛度、機(jī)構(gòu)性能、導(dǎo)軌潤滑的問題，克服大行程運行速度的不穩(wěn)定性，導(dǎo)致掃描精度低，杜絕了傳動裝置，避免了誤差傳遞，并提高了位置反饋精度。??