一種低溫真空大光程高靈敏度直線掃描裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010378244.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111624171A | 公開(公告)日 | 2020-09-04 |
申請公布號 | CN111624171A | 申請公布日 | 2020-09-04 |
分類號 | G01N21/3504(2014.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 范建凱;于婷婷;王淳;趙廣濤;李曉;范恒飛;趙鑫 | 申請(專利權(quán))人 | 北京空間機電研究所 |
代理機構(gòu) | 中國航天科技專利中心 | 代理人 | 北京空間機電研究所 |
地址 | 100076北京市豐臺區(qū)南大紅門路1號9201信箱5分箱 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種低溫真空大光程高靈敏度直線掃描裝置,涉及大氣超光譜探測技術(shù)領(lǐng)域;包括角鏡組件、鎖定裝置、4個限位塊、導向桿、支撐臺、支架、2組導軌與滑塊組件、8個熱卸載組件、支撐架、LVDT組件、直線電機、基座、光柵尺和讀數(shù)頭;本發(fā)明克服現(xiàn)有探測技術(shù)中由于溫度過高或溫度不均勻?qū)е录t外光譜被干涉,和溫度低導致的機構(gòu)剛度、機構(gòu)性能、導軌潤滑的問題,克服大行程運行速度的不穩(wěn)定性,導致掃描精度低,杜絕了傳動裝置,避免了誤差傳遞,并提高了位置反饋精度。?? |
