一種分布式反饋激光器芯片及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010648246.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111769436B 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN111769436B 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01S5/12（2021.01）I;H01S5/22（2006.01）I;H01S5/042（2006.01）I;H01S5/343（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉朝明;王濤;高磊;張峰 申請（專利權）人 因林光電科技（蘇州）有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 215002江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)科技城五臺山路588號2號廠房101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種分布式反饋激光器芯片及其制備方法。其中激光器芯片包括襯底、位于襯底一側的激光器結構、第一電極及第二電極；激光器結構與第二電極相鄰的一側設置有光柵圖形，光柵圖形包括脊形結構，脊形結構包括沿第一方向循環(huán)排布的第一區(qū)域和第二區(qū)域，第一區(qū)域的折射率大于第二區(qū)域的折射率；第二電極覆蓋脊形結構，并延伸至第二區(qū)域的部分區(qū)域，與光柵圖形所在膜層靠近襯底一側的膜層接觸；其中，第一方向平行于襯底所在的平面。本發(fā)明實施例的技術方案，具有調制速率高、內量子效率高、電阻低、單模特性好、應力小、成本低等優(yōu)點，可大幅提升激光器的調制速率、電光轉換效率、單模特性和生產良率等，非常有利于大規(guī)模生產應用。