一種適用于單多晶硅片擴(kuò)散合理利用三氯氧磷的收集裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121413822.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215251336U 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN215251336U 申請公布日 2021-12-21
分類號 C30B31/08（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 朱軍;何秋霞;楊韋;馬擎天 申請（專利權(quán)）人 環(huán)晟光伏（江蘇）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超
地址 214200江蘇省無錫市宜興市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)文莊路20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種適用于單多晶硅片擴(kuò)散合理利用三氯氧磷的收集裝置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、連接件、回收瓶以及尾氣處理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾氣處理瓶依次通過所述連接件進(jìn)行連接，其中，剩液通過所述連接件從所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移動至所述回收瓶中。本實(shí)用新型的有益效果是利用收集裝置能夠完整的將剩液全部回收至回收瓶中，解決現(xiàn)有技術(shù)中只能將瓶底剩余的磷源浪費(fèi)，其中每5個瓶中的剩液的重量與1個全新的磷源液瓶中的重量一致，大大的減少了生產(chǎn)成本。