MEMS微鏡、激光雷達(dá)及自動駕駛設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911069152.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111562560A 公開（公告）日 2020-08-21
申請公布號 CN111562560A 申請公布日 2020-08-21
分類號 G01S7/481(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李帆雅;沈文江 申請（專利權(quán)）人 蘇州希景微機(jī)電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市浩天知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王廣濤
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號D209室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例涉及雷達(dá)技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種MEMS鏡面、激光雷達(dá)及自動駕駛設(shè)備。MEMS鏡面包括框架、轉(zhuǎn)軸、鏡面、磁鐵和線圈；轉(zhuǎn)軸包括互相垂直的第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸；鏡面通過轉(zhuǎn)軸與框架連接，鏡面用于反射激光光束，鏡面能夠繞第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸扭轉(zhuǎn)；線圈設(shè)置于框架上；磁鐵包括相互獨立的第一磁鐵組和第二磁鐵組，第一磁鐵組包括至少一對磁鐵，第二磁鐵組包括至少一對磁鐵，第一磁鐵組與線圈產(chǎn)生驅(qū)動鏡面繞第一轉(zhuǎn)軸扭轉(zhuǎn)的驅(qū)動力，第二磁鐵組與線圈產(chǎn)生驅(qū)動鏡面繞第二轉(zhuǎn)軸扭轉(zhuǎn)的驅(qū)動力。本發(fā)明實施例降低了第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸運動時的相互干擾。??