一種臨時鍵合的載片結(jié)構(gòu)的解鍵合方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111628989.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114455539A 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN114455539A 申請公布日 2022-05-10
分類號 B81C1/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 齊步祥 申請（專利權(quán)）人 蘇州希景微機電科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路398號D1403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種臨時鍵合的載片結(jié)構(gòu)的解鍵合方法，包括：在載片結(jié)構(gòu)的晶圓的預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)形成通孔；將載片結(jié)構(gòu)倒置于支撐件上，使支撐件與載片結(jié)構(gòu)之間的接觸區(qū)域位于通孔內(nèi)，接觸區(qū)域小于通孔的面積；將載片結(jié)構(gòu)和支撐件浸泡在解鍵合溶液中，并攪拌解鍵合溶液，溶解載片結(jié)構(gòu)的晶圓和載片之間的臨時鍵合膠。本發(fā)明提高了臨時鍵合的載片結(jié)構(gòu)的解鍵合速度。