MEMS微鏡、激光雷達及自動駕駛設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911069153.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111562561A 公開（公告）日 2020-08-21
申請公布號 CN111562561A 申請公布日 2020-08-21
分類號 G01S7/481(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李帆雅;沈文江 申請（專利權(quán)）人 蘇州希景微機電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京市浩天知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王廣濤
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號D209室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例涉及雷達技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種MEMS微鏡、激光雷達及自動駕駛設(shè)備。MEMS微鏡包括框架、轉(zhuǎn)軸、鏡面、磁鐵和線圈；所述框架包括第一框架和第二框架；所述轉(zhuǎn)軸包括第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸，所述第一轉(zhuǎn)軸連接所述第一框架和所述鏡面，所述第二轉(zhuǎn)軸連接所述第一框架和所述第二框架，所述第一轉(zhuǎn)軸和所述第二轉(zhuǎn)軸的軸向方向呈十字交叉設(shè)置；所述鏡面用于反射激光光束，其能夠繞所述第一轉(zhuǎn)軸和所述第二轉(zhuǎn)軸扭轉(zhuǎn)；所述磁鐵和線圈位于所述鏡面的背面一側(cè)，用于產(chǎn)生驅(qū)動所述鏡面扭轉(zhuǎn)的驅(qū)動力。本發(fā)明實施例提高了出射激光的能量利用率。??