一種MEMS微鏡的測試圖像獲取裝置及測試系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022579638.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213580686U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213580686U 申請公布日 2021-06-29
分類號 G01N21/84（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李帆雅 申請（專利權(quán)）人 蘇州希景微機(jī)電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫偉峰;賈珍珠
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號D209室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種MEMS微鏡的測試圖像獲取裝置及測試系統(tǒng)，所述測試圖像獲取裝置包括用于承載MEMS微鏡的載臺、依次設(shè)于載臺上方的分光鏡和激光器、間隔設(shè)于載臺側(cè)部的屏幕、及測試探針；激光器用于發(fā)射光束；分光鏡用于透射及反射光束；測試探針與載臺上的MEMS微鏡電連接，用于向MEMS微鏡傳輸測試信號；MEMS微鏡可在測試信號的激勵下發(fā)生偏轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型的MEMS微鏡的測試圖像獲取裝置及測試系統(tǒng)可在芯片層面對MEMS微鏡性能進(jìn)行快速高效測試，提高了產(chǎn)能，降低了成本。且測試精度高，適用范圍廣，測試過程便于觀察。