一種電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS微鏡
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020579906.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211698425U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211698425U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-16 |
| 分類號(hào) | G02B26/10(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李帆雅;魏迪;周小文;沈文江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州希景微機(jī)電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 孫偉峰;陽(yáng)志全 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號(hào)D209室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS微鏡，包括透明的上蓋、導(dǎo)熱的基座、微鏡以及螺線管，上蓋蓋設(shè)于基座上表面，并與基座圍成真空的空腔，微鏡固定并容納于空腔內(nèi)，包括框架、反射鏡以及磁鐵，反射鏡固定在框架內(nèi)，螺線管固定在基座內(nèi)且頂端與反射鏡間隔設(shè)置，磁鐵固定在反射鏡背面，用于在通電的螺線管的作用下，帶動(dòng)反射鏡相對(duì)于框架發(fā)生扭轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型的電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS微鏡，由于微鏡芯片上集成的驅(qū)動(dòng)器為磁鐵，并不產(chǎn)生熱量，MEMS微鏡仍可以采用真空式的封裝結(jié)構(gòu)，既能快速散熱，又能有效避免真空封裝方式影響器件的正常工作帶來(lái)的發(fā)熱問(wèn)題，而且不需要在真空腔室內(nèi)進(jìn)行電連接，因此不會(huì)影響封裝置的氣密性，有利于電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS微鏡性能的提升。?? |
