掃描微鏡
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020591279.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211577560U | 公開（公告）日 | 2020-09-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211577560U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-25 |
| 分類號(hào) | G02B26/10(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 李帆雅;沈文江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州希景微機(jī)電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 孫偉峰;陽志全 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號(hào)D209室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種掃描微鏡，包括框架、反射鏡以及連接在所述框架與反射鏡之間的扭轉(zhuǎn)梁，所述框架將所述反射鏡包圍于其中并與所述反射鏡間隔設(shè)置；所述反射鏡包括自其邊緣朝徑向凹陷形成的缺口部，所述扭轉(zhuǎn)梁的第一端連接所述框架，所述扭轉(zhuǎn)梁的第二端延伸至所述缺口部內(nèi)并與所述反射鏡連接，所述扭轉(zhuǎn)梁的第二端的寬度大于所述扭轉(zhuǎn)梁的第一端的寬度。本實(shí)用新型將扭轉(zhuǎn)梁的根部設(shè)置在反射鏡內(nèi)部，削弱了扭轉(zhuǎn)梁對(duì)于微鏡內(nèi)鏡面填充率的影響，同等尺寸微鏡內(nèi)的鏡面填充率得以提高，有效地增大了反射鏡鏡面的口徑，同時(shí)也避免微鏡出現(xiàn)不必要的跳動(dòng)，降低了扭轉(zhuǎn)梁對(duì)掃描鏡的頻率、偏轉(zhuǎn)角度、機(jī)械穩(wěn)定性等的影響。?? |
