運(yùn)動(dòng)解耦的二維掃描微鏡裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020952946.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212586648U | 公開（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212586648U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-23 |
| 分類號(hào) | G02B26/08(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 余暉俊;李帆雅;沈文江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州希景微機(jī)電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 孫偉峰;陽志全 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號(hào)D209室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種運(yùn)動(dòng)解耦的二維掃描微鏡裝置，包括微鏡、閉合線圈以及與微鏡間隔設(shè)置的磁場(chǎng)發(fā)生裝置、第一導(dǎo)磁柱、第二導(dǎo)磁柱，微鏡的反射鏡通過一對(duì)Y轉(zhuǎn)軸與內(nèi)框連接，內(nèi)框通過一對(duì)垂直于Y轉(zhuǎn)軸的X轉(zhuǎn)軸與外框連接；第一導(dǎo)磁柱、第二導(dǎo)磁柱均設(shè)于閉合線圈正下方，且在內(nèi)框上的正投影分別與X轉(zhuǎn)軸、Y轉(zhuǎn)軸所在的直線相交；第一導(dǎo)磁柱和第二導(dǎo)磁柱分別用于在磁場(chǎng)發(fā)生裝置的作用下驅(qū)動(dòng)通電的內(nèi)框上的閉合線圈發(fā)生偏轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型將導(dǎo)磁柱設(shè)于閉合線圈正下方，并分別對(duì)應(yīng)微鏡的慢軸、快軸軸線所在部位，即可實(shí)現(xiàn)閉合線圈的對(duì)稱受力，從而避免反射鏡沿快軸偏轉(zhuǎn)過程中在慢軸方向上發(fā)生偏移，使得慢軸、快軸單獨(dú)受力，精確保證微鏡的偏轉(zhuǎn)軌跡。?? |
