微鏡裝置以及封裝其的封裝裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020579072.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN211786362U 公開(公告)日 2020-10-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN211786362U 申請(qǐng)公布日 2020-10-27
分類號(hào) G02B26/10(2006.01)I;B65D85/38(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李帆雅;魏迪;周小文;沈文江 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州希景微機(jī)電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫偉峰;武岑飛
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號(hào)D209室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種微鏡裝置,其包括:微反射鏡、支撐件、驅(qū)動(dòng)部、反饋部;所述支撐件包括支撐部以及由所述支撐部的相對(duì)兩端分別向外延伸形成的偏轉(zhuǎn)軸,所述微反射鏡設(shè)置于所述支撐部上;所述驅(qū)動(dòng)部和所述反饋部設(shè)置于所述微反射鏡的同一鏡面?zhèn)龋⑶宜鲵?qū)動(dòng)部和所述反饋部分別位于所述偏轉(zhuǎn)軸所在直線的兩側(cè);所述驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)所述微反射鏡繞所述偏轉(zhuǎn)軸進(jìn)行偏轉(zhuǎn),所述反饋部用于反饋所述微反射鏡的偏轉(zhuǎn)量。本實(shí)用新型還提供了封裝該微鏡裝置的封裝裝置。本實(shí)用新型將驅(qū)動(dòng)部和反饋部與微反射鏡分離設(shè)置,這樣驅(qū)動(dòng)部和反饋部長(zhǎng)時(shí)間工作產(chǎn)生的熱量不會(huì)傳遞到微反射鏡或者支撐件上,因此微反射鏡的可靠性被大大地提高。??