一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920155961.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209604903U 公開（公告）日 2019-11-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN209604903U 申請(qǐng)公布日 2019-11-08
分類號(hào) F17D1/18（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 鐘水英; 何偉富; 何偉豪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州森川合成材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 511400 廣東省廣州市番禺區(qū)石基鎮(zhèn)石基村旦崗西街2號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及光刻膠輸送技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置,包括光刻膠貯存罐和與光刻膠貯存罐相連通的輸送管，輸送管的管壁固定設(shè)有減速電機(jī)，減速電機(jī)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器固定連接有往復(fù)絲桿，往復(fù)絲桿的左右兩端均固定套接有限位塊，且限位塊與輸送管的外部固定連接設(shè)置，往復(fù)絲桿的桿壁活動(dòng)套設(shè)有滑管，兩個(gè)限位塊之間設(shè)有限位桿，限位桿的一端貫穿滑管的側(cè)壁并向外延伸設(shè)置，限位桿的兩端分別與兩個(gè)限位塊的側(cè)壁固定連接設(shè)置，輸送管的外壁對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)弧形板。本實(shí)用新型能夠?qū)斔凸苓M(jìn)行均勻地加熱，從而防止光阻劑的凝結(jié)，保證光阻劑在涂敷時(shí)厚度的均勻性，便于人們的使用。