一種真空檢漏設(shè)備
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202111282358.4 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113932986A | 公開(公告)日 | 2022-01-14 |
申請公布號 | CN113932986A | 申請公布日 | 2022-01-14 |
分類號 | G01M3/20(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 林琦武;張應(yīng)均 | 申請(專利權(quán))人 | 廣州新龍浩工業(yè)設(shè)備有限公司 |
代理機構(gòu) | 廣州駿思知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 吳靜芝 |
地址 | 510000廣東省廣州市番禺區(qū)新造鎮(zhèn)智港大街15號1201室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種真空檢漏設(shè)備,包括:柔性罩體、托板、外罩、壓力調(diào)節(jié)裝置和檢漏裝置;所述柔性罩體設(shè)置在所述托板上,與所述托板共同圍繞形成用于容納工件的容置空間,當工件放入所述容置空間時,所述工件的外壁和所述容置空間的內(nèi)壁之間形成檢漏空間;所述壓力調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述檢漏空間的大??;所述檢漏裝置包括第二真空發(fā)生裝置、檢漏儀和示蹤氣體源。本發(fā)明的真空檢漏設(shè)備可以通過調(diào)節(jié)檢漏空間的壓力,管理檢漏空間內(nèi)的示蹤氣體濃度,管理工件在壓差的作用下向外泄漏的速度,提升泄漏出來的檢測氣體的分壓比從而極大的提高檢測效率和精度,并可保護不能承壓的工件在檢測過程中不會被內(nèi)外壓差破壞。 |
