單晶爐用熱屏

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020531582.3 申請日 -
公開(公告)號 CN201785546U 公開(公告)日 2011-04-06
申請公布號 CN201785546U 申請公布日 2011-04-06
分類號 C30B15/14(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張勇 申請(專利權(quán))人 安徽中科太陽能有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 239200 安徽省來安縣工業(yè)新區(qū)C區(qū)迎賓大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及單晶爐用熱屏,包括外熱屏、內(nèi)熱屏以及位于外熱屏和內(nèi)熱屏之間的保溫層,所述的外熱屏和內(nèi)熱屏固定連接,外熱屏的錐度為0.16-0.23,內(nèi)熱屏的錐度為0.52-0.63,所述的內(nèi)熱屏和外熱屏均采用等靜壓石墨制成,保溫層的材料為軟氈。本實用新型的有益效果是:通過調(diào)整內(nèi)外熱屏錐度,改變保溫層厚度,使屏蔽效果更佳,硅單晶生長速度更快;外熱屏錐度變小,外熱屏底部略平,增大了氬氣流速,增強(qiáng)了SiO等雜質(zhì)的揮發(fā),改善了硅單晶的生長環(huán)境,提高了硅單晶收率及質(zhì)量。