控制大尺寸全固態(tài)電致變色器件著色的工藝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110160613.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112981343A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112981343A 申請公布日 2021-06-18
分類號 C23C14/35;C23C14/54;G02F1/155 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙勇 申請（專利權(quán)）人 蘇州光昛智能科技有限公司
代理機構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 婁岳
地址 215000 江蘇省蘇州市太倉市大連東路36號1號樓1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種控制大尺寸全固態(tài)電致變色器件著色的工藝方法，所述電致變色器件包括第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層，利用磁控濺射工藝在基板上鍍第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層時，沿著第一透明導(dǎo)電層的陽極到陰極方向，所使用的氧氣分壓梯度逐漸減少，沿著第二透明導(dǎo)電層的陽極到陰極方向，說是使用的氧氣分壓梯度逐漸增加。