一種無機(jī)電致變色薄膜的濺射鍍膜方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110730485.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113481474A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113481474A 申請公布日 2021-10-08
分類號 C23C14/34（2006.01）I;C23C14/14（2006.01）I;G02F1/1523（2019.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙勇 申請（專利權(quán)）人 蘇州光昛智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 謝中用;婁岳
地址 215000江蘇省蘇州市太倉市大連東路36號1號樓1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電致變色領(lǐng)域，公開了一種無機(jī)電致變色薄膜的濺射鍍膜方法，包括以下步驟：制作第一靶材和第二靶材；第一靶材和第二靶材中至少有一個靶材包含電致變色薄膜的主要構(gòu)成金屬元素，至少有一個靶材包含電致變色薄膜所要摻雜的金屬元素；將第一靶材和第二靶材分別連接到雙極電源的兩極；所述雙極電源能夠發(fā)出方波脈沖狀的連續(xù)式正負(fù)電壓脈沖；通過調(diào)整施加在第一靶材和第二靶材上電壓脈沖的寬度比，改變摻雜金屬元素在電致變色薄膜中的占比；能夠低成本、便捷的改變鍍膜摻雜比例。