無需退火的全固態(tài)電致變色器件透明導(dǎo)電極的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110169318.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112981345A 公開（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112981345A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) C23C14/35;C23C14/08 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州光昛智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 婁岳
地址 215000 江蘇省蘇州市太倉市大連東路36號(hào)1號(hào)樓1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種無需退火的全固態(tài)電致變色器件透明導(dǎo)電極的制作方法，其特征在于：使用磁控濺射工藝在玻璃基板上鍍透明導(dǎo)電極時(shí)，將銀金屬靶材和透明導(dǎo)電極靶材共同濺射到玻璃基板上且不進(jìn)行退火處理，使得透明導(dǎo)電極的方阻不超過10ohm/□，且透過率大于或者等于86.5％。