一種高真空智能微水測量裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110731557.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113466082A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113466082A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G01N7/14（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 韓學鋒;胡寬海;邊淵;趙航;蘇保勤 申請（專利權）人 中國西電電氣股份有限公司
代理機構 西安通大專利代理有限責任公司 代理人 朱海臨
地址 710077陜西省西安市大慶路485號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高真空智能微水測量裝置和方法，包括托板、彎管、傳輸裝置、法蘭、電磁閥、玻璃管和單晶硅壓力傳感器；托板上設置有單晶硅壓力傳感器和傳輸裝置，單晶硅壓力傳感器的輸出端連接傳輸裝置的輸入端，傳輸裝置的輸出端連接數(shù)據(jù)處理裝置的輸入端；玻璃管設置在法蘭上，玻璃管的上端連通冷凝器的排水口，玻璃管的底部設置有出水管道，出水管道上設置有電磁閥；單晶硅壓力傳感器連通彎管的一端，彎管的一端的另一端連接玻璃管的底部。通過設置玻璃管和單晶硅壓力傳感器，測量探頭上的液體靜壓與實際大氣壓之差，用于干燥終點判斷。保證檢測數(shù)據(jù)準確度、降低操作人員勞動強度，更好保證產(chǎn)品干燥質(zhì)量。